自对准硅化物论文

基于钴硅化物电迁移现象的新电熔丝结构设计
论文摘要为了提高集成电路的生产率,避免芯片中部分器件失效而导致整个电路失效,而引入了基于熔丝技术的冗余技术。电编程熔丝(eFUSE)以其体积小、成本低廉、可缩小性强、可以在封装...