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CMOS集成二维风速传感器的研究
论文题目:CMOS集成二维风速传感器的研究论文类型:硕士论文论文专业:微电子与固体电子学作者:高冬晖导师:秦明关键词:硅风速传感器,工艺,倒装焊,自封装文献来源:东南大学发表年...