自加热效应论文

多晶硅薄膜晶体管自加热效应和KINK效应的模拟技术研究
论文摘要多晶硅薄膜晶体管技术在液晶显示器制造中扮演着很重要的角色,它增进了同时将有源矩阵及周边电路整合在一起的能力。然而,多晶硅薄膜晶体管存在着一些不良的效应,比如自加热效应、...
SGOI、SODI新结构材料及其相关技术研究
论文摘要随着芯片制造业遵循摩尔定律向大尺寸晶圆450mm、光刻线宽nm级、高精度、高效率、低成本发展，集成电路也逐步从微电子时代发展到微纳米电子时代，现有的体硅材料和工艺正接近...
SOI新结构制备及SOI基悬浮式薄膜谐振器的研制
论文摘要SOI（Silicon-on-Insulator）材料,即绝缘体上的硅材料,被国际上公认为“二十一世纪硅集成电路技术”的基础。它能突破体硅材料的诸多限制,在航天领域、光...
新结构SOI材料与器件物理研究
论文题目:新结构SOI材料与器件物理研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:朱鸣导师:林成鲁,朱剑豪关键词:绝缘体上的硅,自加热效应,浮体效应,等离子体浸没式...