自支撑金透射光栅论文

软X射线透射光栅制作
论文摘要作为X射线波段的一种重要色散元件,金透射光栅主要用于激光惯性约束核聚变(ICF)实验中的等离子体诊断,以及X射线天体物理研究的高能透射光栅光谱仪中。使用全息光刻技术制作...