![基于阿贝补偿原理的光栅电感组合轮廓测量系统研究]()
论文摘要本文针对复杂工件表面轮廓的测量方法一直难以同时满足高精度和大量程的测量要求的现状,结合教育部新世纪优秀人才支持计划项目（项目编号:NCET-07-0262）“正交光栅多...
![硅基光子晶体带隙特性与波导研究]()
论文摘要随着硅基微电子元器件集成度的不断提高,器件工艺线宽正趋于理论极限,用电子作为信息载体的微电子技术即将面临难以逾越的瓶颈。因此,用光子作为信息载体的集成光电子学成为了亟须...
![二维声子晶体中的声波控制研究]()
论文摘要近年来，声子晶体丰富的物理内涵和潜在的应用价值引起了人们的普遍兴趣。声子晶体带结构中多种多样的色散关系决定了声波在其中各种独特的传播方式。通过人为设计带结构可以实现声子...
![激光自准直中的数字滤波技术研究]()
论文摘要利用激光光束直线基准进行自准直角度测量具有测量精度高、测量距离远等优点。在实际应用中,激光光束用于高精度自准直小角度测量时,却由于光束的漂移使角度测量的精度及稳定性难以...
![漂移量靶标反馈激光自准直系统关键技术]()
论文摘要随着超精密加工、微电子、微光学、微机械集成制造和空间探测等技术的迅速发展,对超精密工作台的小角度测量精度和稳定性提出了更高的要求。传统的激光CCD自准直仪只能满足一般精...
![基于靶标反馈的自准直光束漂移抑制技术研究]()
论文摘要超精密加工、精密和超精密装备制造和光学制造等技术的迅速发展,对光电自准直仪的测量稳定性提出了更高的要求。在实际应用中,尤其对用于实验室环境下的高精度的激光CCD自准直仪...
![光子晶体自准直效应的特性研究]()
论文摘要自准直效应是近年来在光子晶体中发现的新特性。它可以使光束克服衍射发散效应直线传播，而且具有低成本、高集成度的工艺优势，在光互连、光集成等方面具有广阔的应用前景。利用有限...
