首页
智能降重
一键组稿
论文查重
写作助手
首页
>
标签
>
组合沟道论文
组合沟道论文
服务组合论文
投资组合论文
组合导航论文
营销组合论文
组合论文
组合预测论文
组合优化论文
营销组合策略论文
组合结构论文
组合梁论文
微/纳结构牺牲层腐蚀及其模型研究
论文摘要牺牲层腐蚀技术是先在硅衬底上生长一层牺牲层,然后再淀积一层结构层,腐蚀掉牺牲层后,得到自由悬空结构单元的一种技术。它是MEMS技术中的关键技术之一,在MEMS器件加工中...