阻体修刻论文

论文摘要回转式精密合成碳膜电位器阻体线性修刻技术研究旨在提高电位器的线性精度和修刻系统的修刻速度。本文在研究国内外修刻技术的基础上,通过分析精密合成碳膜电位器的修刻工艺特点,结...